大氣等離子清洗機在運行過(guò)程中所有的功能部件都可以控制，在清洗模式下，射頻功率、清洗時(shí)間等都可以通過(guò)觸摸屏設定，如果需要充入氣體可選擇兩個(gè)氣路并分別設置充氣流量。清洗過(guò)程中運行參數包括真空度、射頻輸出功率、清洗時(shí)間等都在觸摸屏上顯示。
如果你發(fā)現在使用大氣清洗機清洗效果不好，可以從上述幾個(gè)主要運行參數上做出適當調整。下面，琦凡精密帶大家一起來(lái)了解下幾個(gè)影響等離子清洗效果的主要因素，讓你對影響大氣等離子清洗機清洗效果的原因有一個(gè)更加清晰的認知。
一、功率
等離子體的密度和能量與射頻功率成正比關(guān)系，所以在清洗時(shí)應該增大清洗功率從而提高清洗的程度以及清洗的效率，但當功率過(guò)大，離子溫度會(huì )上升，在高溫條件下金屬基片或其他易被氧化的物質(zhì)會(huì )被氧化從而被破壞，另外不耐高溫零件例如塑料等也會(huì )損壞，因此在清洗之前可以借助模擬合理選擇需要的功率，既要滿(mǎn)足經(jīng)濟性要求又要保證清洗效果以及清洗的效率。
二、時(shí)間
通常在保證清洗效果的同時(shí)需要的時(shí)間越少越好以提高清洗的效率，但所用時(shí)間是與各個(gè)參數之間相互關(guān)聯(lián)的。一般來(lái)說(shuō)，功率越大，所需要清洗的時(shí)間就會(huì )越短，但相應的功耗也會(huì )越大，功率的增大會(huì )使反應腔體與零件的溫度升高。
同時(shí)也會(huì )造成其他的多種問(wèn)題，例如零件被破壞、發(fā)生刻蝕等。因此需要不斷摸索清洗時(shí)間、功率、壓力以及氣體種類(lèi)和配比的關(guān)系選擇一個(gè)清洗工藝。
三、溫度
在等離子清洗中，工件溫度會(huì )在離子的轟擊作用下變高，所以工件的溫度會(huì )受到射頻功率和清洗時(shí)間的影響。根據國內外研究表明射頻頻率與溫度成反比；與射頻功率成正比；時(shí)間越長(cháng)溫度越高。
四、壓強
真空腔體內的壓強在設備運行的過(guò)程中主要受漏氣率，充氣及抽氣速度影響。針對不同的材料以及需要去除的污染物不同，所需壓強也是不同的。當充入氬氣、氮氣等非反應性稀有氣體時(shí)，此時(shí)的清洗主要靠離子的物理轟擊作用，此時(shí)可以通過(guò)增大抽速或者減小充氣速度，來(lái)保證真空室在較低的壓力，壓強低可以保證離子具有較高的能量轟擊到基片表面以增強清洗效果。
五、均勻性
離子均勻性主要受到氣體流動(dòng)和腔體壓力的影響。反應氣體的流動(dòng)性會(huì )直接影響到均勻性，在大氣等離子清洗機主要考量均勻性的設計是在充抽氣方面，氣體從真空室前端充入，在真空室中部發(fā)生反應，在尾部排出廢氣；壓力也直接影響均勻性，分子的平均自由程隨著(zhù)壓力的降低而變長(cháng)，離子所獲得的能量越大且均勻，因此清洗效果越好。
